Magnetron Sputtering cov khoom ua si lub luag haujlwm tseem ceeb hauv ntau cov liaj teb xws li cov khoom siv saum npoo av thiab kev npaj zaj duab xis. Kev txij nkawm txhua hnub yog qhov tseem ceeb kom ntseeg tau cov haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom siv, txuas ntxiv nws lub neej kev pabcuam thiab ua kom zoo nkauj ntawm zaj duab xis sputtered. Cov hauv qab no yuav piav ntau ntxiv rau cov ntsiab lus tseem ceeb ntawm kev saib xyuas txhua hnub ntawm Magetron Sputtering cov khoom siv.
Nqus Tsev Kho System
1. Lub tshuab nqus tsev ua haujlwm: Lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis yog cov tseem ceeb tivthaiv ntawm lub tshuab nqus tsev ntawm tus hlauetring cov cuab yeej siv. Txheeb xyuas cov roj theem ntawm lub tshuab nqus tsev tsis tu ncua kom ntseeg tau tias cov roj qib yog nyob hauv qhov qub. Tom qab ntev -}}}}} siv cov roj twj nqus roj yuav tsis zoo vim yog kev tawm ntawm impurities thiab noo noo. Feem ntau, lub tshuab nqus tsev roj yuav tsum tau hloov txhua lub sijhawm ntawm kev ua haujlwm (piv txwv li, 2000 teev). Nyob rau tib lub sijhawm, them sai sai kom kuaj cov tawv ncauj ntawm lub tshuab nqus tsev siv. Kev siv txoj siv tawv dhau dhau yuav ua rau lub tshuab nqus tsev ua kom tsis ruaj khov thiab cuam tshuam txog kev tso pa; Kev nruj heev yuav ua kom lub nrawm dua txoj siv sia. Yog tias txoj siv sia qhia cov cim ntawm hnav lossis kev laus, nws yuav tsum tau hloov nyob rau lub sijhawm.
2. Nqus yeeb tu: Lub tshuab nqus tsev yog cov channel sib txuas lub tshuab nqus tsev thiab yooj yim rau nqus plua plav, impurities thiab cov khoom tsim tawm thaum lub sij hawm sputtering txheej txheem. Nquag siv lub tshuab nqus tsev ua kom huv si tu cov cuab yeej kom huv rau sab hauv ntawm cov yeeb nkab kom tshem tawm cov txuas nrog impurities. Rau qhov uas nyuaj rau kev ntxuav, roj kom siv tau, tab sis kev huv ntawm cov roj kom huv. Ib qho ntxiv, xyuas cov tawv nqaij kom pom tias muaj cov to. Ib qho dej xau me me yuav ua rau lub tshuab nqus tsev kom tiav tsis ncav cuag lub xeev zoo tshaj plaws, cuam tshuam rau cov nyhuv sputtering. Ib qho kev ntsuas helium loj tshaj plaws tuaj yeem siv los kuaj cov dej xau hauv cov yeeb nkab, thiab dej xau tuaj yeem kho tau nyob rau lub sijhawm.
3. Lub tshuab nqus tsev ntsuas hluav taws xob: lub tshuab nqus tsev yog siv los ntsuas lub tshuab nqus tsev, thiab nws txoj kev ntsuas kev txiav txim siab ntawm cov haujlwm ua haujlwm ntawm cov khoom siv. Nquag kho lub tshuab nqus tsev lub tshuab nqus tsev, thiab feem ntau pom zoo rau calibrate nws ib xyoos ib zaug lossis ib xyoos. Kev ntsuas hluav taws xob yuav tsum tau nqa tawm raws li phau ntawv ua haujlwm muab los ntawm cov cuab yeej siv hluav taws xob muab cov ntaub ntawv ntsuas hluav taws xob tau ntsuas los ntawm lub tshuab nqus tsev yog qhov tseeb thiab ntseeg tau.
Sputtering phiaj txij nkawm
1. Lub hom phiaj nto: thaum lub sijhawm ua rau cov txheej txheem sputtering, impurities yuav maj mam tso nyiaj ntawm lub hom phiaj nto, cuam tshuam rau tus nqi sputtering thiab zaj duab xis. Tom qab siv cov khoom siv, lub hom phiaj nto yuav tsum ntxuav kom huv sijhawm. Rau cov hom phiaj hlau, lub hom phiaj tshwj xeeb tu cov txhuam tau tuaj yeem siv rau maj mam txhuam cov chaw saum npoo av; Txog qee cov hom phiaj rhiab, xws li cov hom phiaj ntxuav ceramic, xws li maj mam so nrog lub ntsej muag huv si dipped nyob rau hauv tus neeg sawv cev kom tsim nyog. Zam txhob siv cov cuab yeej ntse mus khawb lub hom phiaj kom tsis txhob ua rau lub hom phiaj puas tsuaj.
2. Kev Soj Ntsuam Cov Pauv: Txheeb xyuas lub installation ntawm lub hom phiaj kom ntseeg tau tias lub hom phiaj yog ruaj khov. Lub hom phiaj yuav raug foob pob los ntawm qhov siab- ceev ions thaum lub sijhawm sputtering. Yog tias nws tsis raug teeb tsa khov kho, nws yuav ua rau lub hom phiaj kom co lossis txawm tias poob tawm, uas yuav tsis tsuas yog cuam tshuam rau cov khoom sib xyaw, tab sis kuj tseem ua rau cov khoom siv puas. Txheeb xyuas qhov kev sib txuas ntawm lub hom phiaj thiab cov khoom siv sputtering yog qhov zoo. Txoj kev sib txuas ntawm kev sib txuas yuav ua rau cov txheej txheem sputtering kom tsis ruaj khov thiab ua rau muaj kev txawv txav xws li ua rau pom. Yog tias qhov kev sib txuas tau pom tias xoob, cov kev sib txuas bolts yuav tsum ua kom nruj hauv lub sijhawm.
3. Lub Hom Phiaj Kev Pab Saib Xyuas Lub Neej: sib txawv ntawm cov khoom hom phiaj muaj lawv lub neej pabcuam tshwj xeeb. Ua tib zoo mloog rau lub sijhawm tu ncua thiab sputtering nyhuv ntawm lub hom phiaj. Thaum tus nqi sputtering ntawm lub hom phiaj poob cia thiab zaj duab xis zoo hloov pauv, nws yuav txhais tau tias lub hom phiaj yog ze rau nws lub neej pabcuam. Hloov cov ntaub ntawv hom phiaj hauv lub sijhawm los xyuas kom cov txheej txheem ruaj khov ntawm cov txheej txheem sputtering thiab sib xws ntawm zaj duab xis zoo. Nyob rau tib lub sijhawm, sau lub sijhawm siv thiab muaj feem xyuam ntawm cov khoom siv hom phiaj los muab cov khoom siv txuas ntxiv rau cov khoom siv cov khoom siv thiab kev ntsuas ua tau zoo.
Kev Tu Hluav Taws Xob
1. Lub zog tshuaj ntsuam xyuas: lub zog hluav taws xob ntawm tus magnetron sputtering khoom muab lub zog rau cov txheej txheem sputtering, thiab nws cov ruaj khov yog qhov tseem ceeb. Tsis tu ncua xyuas seb cov zis hluav taws xob thiab cov khoom siv hluav taws xob tam sim no muaj nyob hauv qhov qub. Koj tuaj yeem siv cov cuab yeej hluav taws xob ntsuas ntsuas kom pom lub zog hluav taws xob txhawm rau tshawb xyuas seb cov zis tsis muaj txiaj ntsig zoo nrog cov cuab yeej teeb tsa. Yog tias cov zis hluav taws xob lossis pom tau tam sim no hloov pauv tsis zoo, qhov laj thawj yuav tsum tau soj ntsuam sai. Tej zaum nws yuav ua txhaum nyob rau sab hauv cov feem ntawm lub zog hluav taws xob lossis teeb meem nrog txoj kab txuas. Ib qho ntxiv, kos cov cua sov dissipation ntawm lub zog hluav taws xob kom ntseeg tau tias lub zog hluav taws xob tuaj yeem cuam tshuam cov tshav kub tsis txaus ntseeg. Lub zog siv hluav taws xob yuav tsim kom muaj cua sov ntau thaum ua haujlwm ntev. Yog tias cov cua sov dissipation yog cov neeg pluag, nws yuav ua rau kev puas tsuaj rau cov khoom siv. Ntxuav cov hmoov av ntawm lub zog hluav taws xob kom ntseeg tau tias tus kiv cua txias tau khiav ib txwm khiav ib txwm khiav ib txwm khiav.
2. Hluav taws xob hluav taws xob saib xyuas: Tshawb xyuas seb cov hluav taws xob hluav taws xob hauv cov khoom siv yog kev laus lossis puas. Tom qab ntev - kev siv hluav taws xob yuav muaj teeb meem xws li kev laus ntawm cov xaim, uas yuav coj kev nyab xeeb rau kev nyab xeeb thiab cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv. Txog kev laus lossis kev puas ntsoog pom, lawv yuav tsum tau hloov nyob rau lub sijhawm. Nyob rau tib lub sijhawm, xyuas kom meej tias txoj kab sib txuas yog khov kho kom tsis txhob muaj kev sib cuag ua rau muaj kev sib cuag. Xoob Txuas cov ntsiab lus txuas tau tsim cov txim taws thaum lub sijhawm ua haujlwm ntawm cov khoom siv, cov cuab yeej ua kom puas tsuaj lossis tseem ua rau hluav taws. Ua kom nruj cov screws ntawm cov kab sib txuas cov ntsiab lus tsis tu ncua thiab tshawb xyuas kev sib cuag ntawm cov ntsaws thiab lub).
3. Tswj Kev Txij Nkawm: Tswj cov txheej txheem ntawm cov khoom siv yog lub luag haujlwm rau kev soj ntsuam thiab kho ntau yam ntawm cov txheej txheem sputtering. Rov qab cov ntaub ntawv hauv cov txheej txheem tswj tsis tu ncua los tiv thaiv cov ntaub ntawv poob. Nyob rau tib lub sijhawm, tshuaj xyuas seb puas muaj kev hloov kho kom sai rau cov software tswj software. Cov software hloov tshiab tuaj yeem txhim kho cov tsis muaj kev tsis txaus ntseeg thiab txhim kho kev ruaj khov thiab ua haujlwm ntawm lub system. Ib qho ntxiv, ntxuav cov tswj kev tswj hwm kev ua haujlwm los xyuas kom meej tias cov nyees khawm thiab cov neeg teb xov xwm tau zoo thiab tau txais cov ntaub ntawv ua haujlwm.
Cua Txias Txheej Txheem Tu
1. Kev tshuaj xyuas txias: Lub kaw lus txias yog siv los txo cov cua sov tsim los ntawm cov khoom siv thaum lub sijhawm ua haujlwm. Lub coolant yog qhov nruab nrab tseem ceeb ntawm lub zog txias. Txheeb xyuas theem txias dua kom ntseeg tau tias qib yog nyob rau hauv ib txwm muaj. Tus qib txias yuav poob vim evaporation, to, thiab lwm yam thaum siv ntev- siv. Qib qis heev yuav cuam tshuam rau cov nyhuv txias. Nyob rau tib lub sijhawm, tshawb xyuas qhov zoo ntawm cov khoom txias thiab saib seb puas muaj coolant yog discoled, turbid lossis muaj ntxhiab. Yog tias tus txias txias tsis txaus ntseeg, nws yuav tsum tau hloov nyob rau lub sijhawm. Nws yog feem ntau pom zoo los hloov lub coolant txhua 1-2 xyoos. Qhov hloov hloov hloov cov voj voog uas tau txiav txim siab tuaj yeem txiav txim siab raws li kev siv cov khoom siv thiab cov khoom siv cov lus pom zoo.
2. Cua txias kev hnav khaub ncaws: tshuaj xyuas seb puas cov yeeb nkab txias tawg. Sab hauv ntawm cov yeeb nkab cua txias yuav thaiv tau vim yog cov kev sib txuam ntawm nplai, impurities, thiab lwm yam, cuam tshuam rau qhov chaw ntws ib txwm. Cov yeeb nkab tuaj yeem ntxuav kom huv los ntawm kev tu cev lossis tu lub cev. Tshuaj Tu yuav siv tau tus neeg sawv cev tshwj xeeb, tab sis them nyiaj rau kev tu tus neeg sawv cev thiab lub sijhawm tu kom tsis txhob xeb rau cov yeeb nkab. Kev ntxuav lub cev tuaj yeem nqa tawm los ntawm high- cov phom dej dej ntws thiab lwm txoj kev. Ib qho ntxiv, tshawb xyuas cov ntsaws ntawm cov yeeb nkab cua txias kom tiv thaiv kom tsis txhob muaj qhov xau xau. Yog tias muaj dej xau nyob hauv cov yeeb nkab, cov yeeb nkab puas yuav tsum tau kho lossis hloov hauv lub sijhawm.
3. Txias khoom siv tshuaj kuaj: kos cov twj tso kua mis, radiator thiab lwm yam khoom siv hauv cov txheej txheem txias. Xyuas kom meej tias cov twj tso kua dej ua haujlwm tau ua haujlwm. Tus impeller ntawm cov taub dej yuav cuam tshuam rau kev nqus cov peev txheej vim hnav. Yog tias cov twj tso kua dej yog pom tias nqus tsis txawv txav, cov taub dej yuav tsum tau kho lossis hloov hauv lub sijhawm. Txheeb xyuas seb puas yog lub rhaub dej kub kub ntawm lub radiator yog thaiv, ntxuav cov hmoov av thiab cov khib nyiab ntawm lub taub hau kub tuaj yeem cuam tshuam cov cua sov. Nyob rau tib lub sijhawm, xyuas cov kev ua haujlwm ntawm tus kiv cua txias kom ntseeg tau tias tus kiv cua tuaj yeem muab cua txias rau lub teb chaws txias.
Cov cuab yeej tu thiab kho ib puag ncig
1. Cov Khoom Siv Ua Si Ua Si: Tsis tu ncua ntxuav cov npoo ntawm cov hlauetron sputtering cov khoom kom tshem cov hmoov av, roj thiab lwm cov kuab paug. Koj tuaj yeem siv daim ntaub huv si muag kom poob rau hauv qhov tsim nyog ntawm xab npum thiab maj mam so cov khoom siv. Rau qee tus neeg tawv ncauj muag ua ke, koj tuaj yeem siv cov khoom siv hluav taws xob tshwj xeeb, tab sis ceev faj kom tsis txhob muaj xab npum ntawm nkag mus rau sab hauv cov cuab yeej. Tom qab tu, so lub npoo ntawm cov khoom siv nrog daim ntaub huv kom cov tsos ntawm cov khoom huv.
2. Huv li ib puag ncig ua haujlwm: kev ua haujlwm ib puag ncig ntawm cov khoom siv kuj muaj qhov cuam tshuam tseem ceeb rau nws qhov kev ua tau zoo thiab lub neej. Khaws ib puag ncig ua haujlwm huv si, huv cov hmoov av rau hauv av tsis tu ncua, thiab zam cov hmoov av ntau dhau los ntawm kev nkag mus hauv cov khoom siv. Tswj qhov kub thiab vaum ntawm ib puag ncig ua haujlwm. Feem ntau, mavetrivon sputtering cov khoom yog tsim nyog rau kev ua haujlwm hauv ib puag ncig nrog kub ntawm 20-25 thiab ib tug txheeb ze cov av noo ntawm 40%--60%. Cov cua txias thiab dehumidification cov khoom siv tuaj yeem raug ntsia kom kho cov cua sov huab cua sov thiab av noo. Tsis tas li ntawd, kom tau tias qhov chaw ua haujlwm tau txhaj tshuaj tau zoo los tiv thaiv cov khoom sib txuam ntawm cov cua sov thiab tso pa tawm thaum lub sijhawm ua haujlwm.
Hauv ntej, kev saib xyuas txhua hnub ntawm Magetron Sputtering khoom siv ntau yam xws li lub tshuab nqus tsev, lub hom phiaj hluav taws xob, khoom siv tu thiab kho kom ib puag ncig. Cov neeg ua haujlwm yuav tsum nruj ua raws cov khoom lag luam tu cov cuab yeej siv, thiab txhim kho kev ua haujlwm zoo thiab tsim kev ua haujlwm zoo ntawm cov yeeb yaj kiab sputtered.
