1. Cov Qauv Yooj Yim ntawm Lub Tshuab Nqus Tsev
Lub Tshuab Nqus Tsev Yog Cov Ntaus Ntawv uas tso cov yeeb yaj kiab nyias nyias nyob ntawm ntug kev los ntawm kev siv lub cev lossis tshuaj lom neeg hauv lub cev. Nws cov qauv tseem ceeb suav nrog cov ntu hauv qab no:
1. Lub tshuab nqus tsev: Nws yog suav nrog cov twj tso kua mis, cov twj molecular twj tso kua mis, thiab lwm yam Piv txwv li, lub twj tso kua mis tuaj yeem txo lub siab rau 1 ~ 10 teev, thiab cov roj ntsha molecular tuaj yeem txo nws qis dua 10⁻⁴.
2. Txheej chamber: lub cev tseem ceeb yog lub cev stainless kab noj hniav, uas yog corrosion {{}} tiv taus thiab muaj zog sib khi. Qhov loj me ntawm 0.5 m³ rau cov chaw ua hauj lwm me me rau 5 m³ rau kev muaj qib siab (xws li ulvac lub arl-300 qauv).
3. Evaporation qhov chaw: Xaiv cov cua sov ua cua sov, hluav taws xob lossis hlauetron sputtering los raws li cov kev cai. Piv txwv li, lub zog ntawm electron nqaj evaaporation qhov chaw tuaj yeem ncav cuag 10 kw, thiab tus neeg evap yog li 1 ~ 5 nm / s.
2. Qhov sib txawv ntawm cov sib xyaw sib txawv ntawm cov khoom siv txheej txheej
1. Lub cev vapor deposition (PVD) khoom siv:
- MAX MAAVETRING TXHEEJ TIM MACHINE, xws li cov hom phiaj titpends (xws li cov hom phiaj titpends (txhuas lub hom phiaj, thiab cov pa nqus dej siab yog 0.1 ~ 10 teev.
- arc} Arc ion txheej tshuab Ntxiv rau Arc Qhov Chaw, Tam sim no tuaj yeem ncav cuag 100 ~ 200 thiab cov yeeb yaj kiab adhesion muaj zog dua.
2. Tshuaj Vapor Deposition (CVD) Khoom:
- reih reies roj (chi) yuav tsum tau qhia, thiab roj av tswj cov txheej txheem yog nruab nrog ± 1 sCCM (Milliliters / feeb).
3. Cov tshuab ntsuas nruab nrab thiab cov ntsiab lus tseem ceeb
1. Tswj system: Plc lossis lub khoos phis tawm yog siv los saib xyuas lub tshuab nqus tsev, thiab cov yeeb yaj kiab thickness (±).
2. Cov txheej txheem cua txias: Tus tsim ntws ntws ntawm cov dej txias yog feem ntau 20 ~ 50 l / min} Term txoj haujlwm ruaj khov ntawm cov khoom siv.
IV. Daim Ntawv Thov Cov Lus Qhia thiab Xaiv Cov Lus Taw Qhia
1. Optical txheej: Yuav tsum muaj kev sib txawv siab (± 1% khib nyiab), thiab xav tau xaiv ntau qhov chaw ci ntsa iab evaporation qhov chaw.
2. Cov txheej txheej: tsom rau hardness (xws li tin txheej tuaj yeem ncav 2000 hv), thiab arc ion plating cov cuab yeej nyiam.
Los ntawm kev tsom xam saum toj no, cov neeg siv tuaj yeem xaiv cov khoom sib piv hom thiab kev teeb tsa raws li cov kev xav tau tiag tiag (xws li zaj duab xis, ntau lawm kev ua tau zoo).
