Ua ntej, peb yuav tsum tau qhia meej tias lub tshuab nqus tsev vacuum yuav tsum muaj ntau yam impurities (dej vapor, hydrocarbons, plua plav, roj, thiab lwm yam) adhering rau lub chamber phab ntsa los yog qhov chaw ntawm lub hauv paus Cheebtsam, tsim cov pa roj thiab vapor qhov chaw uas cuam tshuam lub nqus tsev vacuum tshuav nyiaj li cas. Cov kab mob no tuaj yeem los ntawm ntau qhov chaw, suav nrog cov khoom siv hluav taws xob thiab cov roj nplua nyeem los ntawm kev ua haujlwm, cov hws ntawm tes thaum lub sijhawm ua haujlwm, cov plua plav hauv huab cua, thiab txawm tias cov kab mob impurities qhia los ntawm lub tshuab nqus tsev twj lossis cov volatiles los ntawm cov khoom siv los yog substrate. Txawm hais tias hom kab mob kis tau zoo li cas, lub tswv yim tseem ceeb ntawm kev rov qab los yog "tshwj xeeb tshem cov impurities yam tsis muaj kev puas tsuaj rau cov khoom siv chamber thiab rov ua kom lub tshuab nqus tsev." Kev sib txawv ntawm kev sib kis yuav tsum muaj cov txheej txheem rov qab sib txawv.
Txoj Kev 1: Cua sov rau "Evaporate" Impurities - Nqus Cua Sov Ntxuav Txoj Kev Qhov no yog qhov yooj yim tshaj plaws thiab feem ntau siv cov txheej txheem kho dua tshiab. Lub hauv paus ntsiab lus yog qhov yooj yim heev: ib yam li ziab khaub ncaws nrog dej stains, cua sov ua rau muaj qhov tsis zoo (xws li dej vapor thiab me me hydrocarbons) ntawm cov kab noj hniav kom evaporate, thiab tom qab ntawd lawv raug tshem tawm los ntawm lub tshuab nqus tsev twj, yog li ua tiav kev tu.
Txoj Kev 2: Ultraviolet "decomposition" ntawm cov kab mob - Ultraviolet irradiation tu txoj kev. Yog tias cov kab noj hniav sib kis feem ntau yog tsim los ntawm hydrocarbons (xws li cov roj lubricating residual thiab cov pa phem organic), cov txheej txheem ntxuav ultraviolet irradiation yuav ua tau zoo dua. Ntxiv mus, nws tsis yog -kev sib cuag thiab tsis yog- puas tsuaj thoob plaws hauv cov txheej txheem, ua rau nws tshwj xeeb tshaj yog haum rau cov xwm txheej uas yuav tsum muaj cov khoom siv siab heev, xws li precision optical kab noj hniav thiab semiconductor nqus kab noj hniav.
Txoj Kev 3: Ion "Bombardment" Decontamination - Txoj Kev Tshem Tawm Tawm. Rau lub tshuab nqus tsev siab thiab ultra- lub tshuab nqus tsev siab (xws li cov khoom siv lub tshuab nqus tsev thiab cov khoom siv hluav taws xob semiconductor ion implantation kab noj hniav), kev sib kis feem ntau yog tawv ncauj, tshwj xeeb tshaj yog cov pa roj carbon thiab hydrocarbons ntawm cov kab noj hniav stainless hlau, uas nyuaj rau tshem tawm los ntawm txoj kev zoo tib yam. Nyob rau hauv cov ntaub ntawv no, yuav tsum tau tshem tawm txoj kev tu, uas kuj yog ib tug tseem ceeb txoj kev rau kev sib sib zog nqus rov qab ntawm lub tshuab nqus tsev kab noj hniav.
Txoj kev 4: Gas "flushing" deb impurities - Gas flushing method Yog hais tias lub kab noj hniav tsuas yog me ntsis paug, los yog yuav tsum tau ceev rov qab thiab shortening lub sij hawm khiav tawm, gas flushing yog qhov zoo tshaj plaws kev xaiv. Nws tau muab faib ua nitrogen flushing thiab reactive gas flushing, uas yog haum rau txawv scenarios.
Qhov tseem ceeb yuav tsum tau muab tso rau tom qab- kev tiv thaiv kev kis kab mob: Tom qab kev kho dua tshiab, cov kab noj hniav yuav tsum tau ceev kom deb ntawm cov roj thiab hmoov av. Kev tiv thaiv yuav tsum tau ua thaum lub sijhawm ua haujlwm, thiab lub tshuab nqus tsev twj tso kua mis yuav tsum tau tswj kom tsis tu ncua txhawm rau txo qhov muaj peev xwm rov ua dua. Qhov no yog ib qho tseem ceeb tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv cov teb uas xav tau kev huv siab heev, xws li semiconductors thiab aerospace, qhov chaw huv si ncaj qha txiav txim siab txog cov khoom lag luam lifespan thiab kev ua haujlwm. Kev huv huv ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum yog "lifeline" ntawm siab -kawg lub tshuab nqus tsev. Qhov tseeb, los ntawm kev paub txog plaub txoj hauv kev kho kom zoo dua qub thiab hloov pauv txoj kev tsim nyog raws li qib kev sib kis thiab cov khoom siv kab noj hniav, kab noj hniav teeb meem tuaj yeem daws tau yooj yim, ua kom ruaj khov ntawm lub tshuab nqus tsev. Nrog rau txoj kev loj hlob ntawm kev lag luam kev lag luam precision, lub tshuab nqus tsev tu tshuab kuj tseem txhim kho tas li, los ntawm kev ua cua sov ib txwm ua kom zoo rau ib puag ncig thiab muaj txiaj ntsig tawm thiab ntxuav cov ntshav. Ntau thiab ntau txoj hauv kev yog kev tiv thaiv kev huv ntawm lub tshuab nqus tsev vacuum, tiv thaiv siab -kev tsim khoom kawg.
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