Sib xwsZov - arc ion plating nqus plua plav nqus tsevsiv Arc Bombardment lossis Argon ion tu. Dab tsi yog qhov txawv ntawm ob?
Ib qho yog cov hlau ntxuav, thiab lwm qhov yog cov roj ntxuav roj; Lub zog qib sib txawv, thiab cov ntsiab cai kuj txawv. Niaj hnub no, Puzyuan lub tshuab nqus tsev yuav muab koj cov lus qhia ntxaws:
Ntau - arc ion plating siv cov hluav taws xob hluav taws xob tawm mus rau cov khoom siv hlau txuas ntxiv rau cov phiaj xwm cathhode. Cov khoom siv evaporated muaj ions los ntawm canhode cov khoom tso tawm thaum lub sijhawm Cathode arc tawm. Cov cuab yeej no tsis tas yuav ua lub pas dej Molten; Lub hom phiaj yuav tsum tau evaporated txuas nrog cathode, thiab lub nqus nqus chamber ua raws li anode. Thaum lub teeb hluav taws xob mus tam sim ntawd thiab nrawm rau lub hom phiaj Cathode, tsim lub ntsej muag, tsim lub ntsej muag ci ntsa iab arc ntawm lub Cathode nto. Qhov chaw ntawm lub taub tsawg dua 100μm, thiab ceev tam sim no nyob rau hauv qhov chaw tuaj yeem ncav cuag 10³ ~ 10⁷ a / cm². Cov khoom hauv thaj av no ces evaporates thiab ionizes. Lub Cathode arc cov chaw txav ntawm cov cathode nto ntawm qhov ceev ntawm kaum ntawm metres ib ob. Ib daim teb sib nqus sab nraud yog siv los tswj kev ua kom lub cev thiab nrawm ntawm qhov chaw. Txhawm rau tswj lub tshuab nqus tsev ARC, qhov hluav taws xob ntawm -20 txog -40 V feem ntau yuav tsum muaj.
Lub hauv paus ntsiab lus ntawm ntau {{0} ion plating yog ua tiav ntawm cov txheej txheem tshem tawm thiab kev sib nrig sib ntxiv ntawm ob lub tshuab Thaum lub sij hawm cov txheej txheem tso tawm, ntau tus nqi ntawm cov ntaub ntawv cathode evaporates. Tus ions zoo tsim los ntawm cov vapor molecules no tsim ib qho hluav taws xob tsis tshua muaj zog nyob hauv ib qho luv luv ze ntawm cov Cathode nto. Nyob rau hauv cov cawv ntawm cov pob zeb muaj zog no, cov hluav taws xob raug emitting rau hauv lub tshuab nqus tsev hluav taws xob. Zoo ions muaj peev xwm suav tau txog 10% ntawm tag nrho cov ARC tam sim no. Hlau Iase nyiam rau lub Cathohode nto sau ib qho chaw them nyiaj, uas nyob rau hauv cov catheraries muaj zog (cov kab ke tsis muaj zog lossis tawg) los pib qhib electrons. Cov ntsiab lus ntawm cov neeg muaj hluav taws xob siab emission density muaj siab ceev. Joub cua sov tsa qhov kub, ua kom muaj hluav taws xob tshuab hluav taws xob, ntxiv mus ntxiv hluav taws xob emission. Qhov kev pom zoo zoo no ua rau muaj kev ua haujlwm hauv zos.
Lub joule cua sov tsim los ntawm cov txheej txheem tam sim no tam sim no ua rau muaj cov khoom tawg ntawm cov khoom tawg, emitting hluav taws xob nto, emitting electrons thiab ions thiab tawm hauv cov cim tawm. Molten cathue cov khoom hais yog tseem tso tawm. Qee qhov ntawm emitted ions yog nyiam rov qab mus rau lub Cathode nto, uas nyob rau hauv lem cov ntsiab lus hluav taws xob uas muaj zog los pib ua haujlwm elitting.
Ntau - arc ion plating nqus plua plav tshuab muaj cov yam ntxwv hauv qab no:
Cov txiaj ntsig: nws tuaj yeem nruab kev txiav txim siab kom ntseeg tau cov yeeb yaj kiab uas tsis zoo. Ib thaj chaw sib nqus sab nraud txhim kho arc tawm paug; ua txhaum lub arc; Nce tig ceev ceev; rov ua zaj duab xis; thiab kho kom nrawm. Tus nqi hlau siab hlau tau txais txiaj ntsig zoo rau zaj duab xis thiab adhesion, ua rau nws cov txheej txheem zoo rau ion plating. Ib qho arc pab ntau lub hom phiaj: nws ua raws li evaporation qhov chaw, ua ntej bombardment purifications, thiab cov ionization ionization.
Qhov tsis zoo: Nyob rau ntawm lub zog loj, cov hlau loj hlau tau tsim yooj yim, cuam tshuam rau cov txheej txheem zoo; thiab arc cov kev tsis ruaj khov tshwm sim rau qee cov ntaub ntawv phiaj.
Cov hau kev los txo cov khoom siv hluav taws xob muaj xws li: Txo cov pa hluav taws xob ntom ntom, nce arc ceev kev ntsuas, thiab ua haujlwm ntawm kev ua haujlwm sib nqus.
