1. Nqus Chamber
Lub nqus tsev nqus yog qhov tseem ceeb ntawm lub tshuab nqus tsev. Nws lub ntsiab muaj nuj nqi yog los tsim lub tshuab nqus tsev ib puag ncig thiab khaws cov txheej txheem txheej hauv lub xeev nqus. Lub tshuab nqus tsev feem ntau yog ua los ntawm cov hlau stainless lossis cov ntaub ntawv aluminium alloy, nrog lub tshuab nqus tsev siab thiab xeb tawm tsam.
2. Twj Tso Kua Mis
Lub cev tso dej yog ib qho tseem ceeb ntawm lub tshuab nqus tsev. Nws yog qhov tseem ceeb rau kev rho tawm cov pa roj hauv lub tshuab nqus tsev kom ua kom lub nqus tsev kawm ntawv qib siab. Lub cev tso dej feem ntau muaj li cov twj molecular, nqus twj thiab kev sib txawv nqus twj. Cov kev sib xyaw ua ke ua ke tuaj yeem ua tiav cov hauv lub taub hau sib txawv thiab ua kom nrawm.
3. Substrate clamping ntaus ntawv
Lub substrate clamping ntaus ntawv yog lwm qhov tseem ceeb ntawm lub tshuab nqus tsev. Nws yog siv los kho cov khoom siv substrate yuav tsum tau coated thiab tswj hwm nws txoj haujlwm thiab kev txav chaw. Lub substrate clamping ntaus ntawv feem ntau yog tsim ntawm lub rooj sib hloov, ib lub lifting txheej txheem thiab ib substrate clamp. Txawv cov clamps sib txawv tuaj yeem hloov kho kom haum rau cov duab sib txawv thiab ntau thiab tsawg.
4. Cua Sov System
Cov cua sov yog qhov tsim nyog tivthaiv nyob rau hauv lub tshuab nqus tsev tshuab. Nws tuaj yeem ua kom sov thiab txheej txheej txheej los txhawb kev tsim ntawm cov txheej thiab txhim kho nws qhov zoo. Cov cua sov feem ntau tau siv los ntawm kev tiv thaiv hlau, hluav taws xob cua sov, induction cua sov thiab lwm txoj kev.
5. TXHEEJ TXHEEM
Cov txheej txheej txheej yog qhov kawg ntawm cov tshuab nqus tsev. Nws yog siv los muab cov khoom siv uas xav tau yuav tsum tau ua, feem ntau suav nrog cov hlau, ceramics, silicon thiab lwm yam ntaub ntawv. Qhov khoom siv txheej txheej tuaj yeem tso cov khoom ntawm cov txheej txheem ntawm hluav taws xob ntawm hluav taws xob nqaj, evaporation, cov hau kev thiab lwm txoj hauv kev los ua cov txheej uas yuav tsum tau ua.
Ntsiab lus: Lub tshuab nqus tsev yog ib qho cuab yeej siv los tsim cov txheej txheem siab, cov tshuab cua tshuab, cua sov thiab cov txheej txheem cua sov thiab cov txheej txheem cua sov thiab txheej txheem cua. Cov feem no ua haujlwm ua haujlwm ua ke los ua kom tiav cov txheej txheem txheej txheej txheej txheej.
